无尘车间净化等级划分是依据什么？

发布日期：2020-05-25 作者：李树贵点击：

净化等级一般分为100级、1000级、10000级、100000级，现在2010年版的GMP净化车间已经不用这个叫法了，分为ABCD级别，分别相对应于98版的几个级别，通过检测区域内的尘埃粒子数、浮游菌数、沉降均数评价净化级别，各个级别有不同的要求，净化等级分静态、动态两种。

(一)洁净室之等级世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。　　

209E与209D等最大之不同在于209E表示单位

增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3….以此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。

洁净网z:Wg1pj 　　美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。

(二)洁净室之定义　　洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或洁净室。　「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。　　

洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。

(三)洁净室控管之项目　　

1.能除去空气中飘游之微尘粒子。　　

2. 能防止微尘粒子之产生。　　

3. 温度和湿度之控制。　　

4. 压力之调节。　　

5. 有害气体之排除。　　

6. 结构物与隔间之气密性。　　

7. 静电之防治。　　

8. 电磁干扰预防。　　

9. 安全因素之考虑。　　

10. 节能之考量。

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